開平ZJ系列高精度氣墊隔振平臺(自動平衡)

  ZJ系列高精度氣墊隔振平臺具有良好的垂直和水平方向的隔振性能。產品廣泛應用在光學、精密計量、精密測量、生物、醫學、微電子、半導體等各個領域。

產品數據表

型號Model

臺板尺寸(mm)

平臺整體高度（mm）

Z大載荷(kg)

螺孔孔徑

螺孔距(mm)

支撐腿數量（只）

長度

寬度

臺板厚度

ZJ-0906

900

600

50

800

200

M6

25

4

ZJ-0906

900

600

100

800

400

M6

25

4

ZJ-1208

1200

800

100

800

800

M6

25

4

ZJ-1509

1500

900

100

800

800

M6

25

4

ZJ-1510

1500

1000

100

800

800

M6

25

4

ZJ-1511

1500

1100

100

800

800

M6

25

4

ZJ-1810

1800

1000

200

800

800

M6

25

4

ZJ-1812

1800

1200

200

800

800

M6

25

4

ZJ-2010

2000

1000

200

800

800

M6

25

4

ZJ-2012

2000

1200

200

800

800

M6

25

4

ZJ-2015

2000

1500

200

800

800

M6

25

4

ZJ-2412

2400

1200

200

800

800

M6

25

4

ZJ-2415

2400

1500

300

850

800

M6

25

4

ZJ-2518

2500

1800

300

850

800

M6

25

6

ZJ-3012

3000

1200

300

850

800

M6

25

6

ZJ-3013

3000

1300

300

850

800

M6

25

6

ZJ-3015

3000

1500

300

850

800

M6

25

6

ZJ-3512

3500

1200

300

850

800

M6

25

6

ZJ-3513

3500

1300

300

850

800

M6

25

6

ZJ-3515

3500

1500

300

850

800

M6

25

6

ZJ-4015

4000

1500

300

850

800

M6

25

8

ZJ-5015

5000

1500

300

850

800

M6

25

8

ZJ-6015

6000

1500

400

850

3000

M6

25

8

主要性能指標

載荷能力：

Z大1000kg

充氣壓力：

Z大0.6Mpa

固有頻率：

垂直方向：2～3Hz

水平方向：2～3Hz

Z大動撓度系數:

1.1×10﹣3~3.5×10﹣3

Z大相對位移：

0.22nm

臺面平面度:

0.10mm/m2